เลนส์ F-Theta มักใช้ร่วมกับกระจกสแกนแบบกัลวาโนมิเตอร์ในระบบแกะสลัก ตัด และทำเครื่องหมายด้วยเลเซอร์ โดยทั่วไปแล้ว ความบิดเบี้ยว F-Theta ของเลนส์จะถูกควบคุมให้น้อยกว่า 1% เพื่อให้สามารถสร้างจุดที่แม่นยำบนระนาบภาพได้
ค่าความคลาดเคลื่อนของเส้นผ่านศูนย์กลาง: +0/-0.13 มม.
ค่าความคลาดเคลื่อนของความหนา: ±0.25 มม.
ค่าความคลาดเคลื่อนของระยะโฟกัส: ±2%
ความแปรผันของความหนาขอบ (ETV): ≤3 อาร์คนาที
รูรับแสงที่ใส: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
คุณภาพพื้นผิว: 40-20 SD
สารเคลือบ AR: R<0.2% ต่อพื้นผิวที่ 10.6 ไมครอน